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净化工程中控制温度和湿度的具体措施是什么?
2023-05-16 15:29:55
净化工程洁净室的温度和湿度主要取决于您的加工要求,在满足加工技术的条件下,应考虑人体舒适度。随着机械净化板对空气纯度的需求,对过程中的温度和湿度的要求也越来越高,达到一定的温湿度水平。例如,在用于大规模生产集成电路的光刻曝光方法中,作为掩模材料的玻璃和硅片之间的热膨胀系数差异越来越不必要。
净化工程
中控制温度和湿度的具体措施是什么?
净化工程
洁净室的温度和湿度主要取决于您的加工要求,在满足加工技术的条件下,应考虑人体舒适度。随着机械
净化板
对空气纯度的需求,对过程中的温度和湿度的要求也越来越高,达到一定的温湿度水平。例如,在用于大规模生产集成电路的光刻曝光方法中,作为掩模材料的玻璃和硅片之间的热膨胀系数差异越来越不必要。硅片的直径为100um,温度升高1度,导致0.24um的线性膨胀。因此,温度恒定在±0.1度,需要低湿度值,因为人体出汗后产品会被污染,钠半导体车间很害怕。这样的车间温度不应超过25度。
过量的水生产还有更多的问题。当相对湿度超过55%时,冷却水管壁可能暴露在外,如果发生在精密设备或电路中,可能会导致各种事故。相对湿度易生锈50%。
净化工程
中控制温度和湿度的具体措施是什么?
然而,对于大多数清洁空间来说,有必要将内部压力(静压)保持在外部压力(静态压力),以避免外部污染侵入。压差的维护应遵循以下原则:
1.高清洁度空间中的压力应高于相邻的低清洁度空间。
2.连接洁净室的门应通向高纯度的房间。
3.洁净空间的空气淋浴间的压力应大于非洁净空间的压力。
压差的维持取决于新的空气量,它补偿了在这种压差下从裂缝中逸出的空气量。因此,压差的物理意义是空气体积对通过洁净室中不同缝隙泄漏(或渗透)的阻力。
对于体积庞大的洁净室,由于空气稀释效果主要用于减少室内污染,因此主要采用换气频率的概念,但没有直接使用速度的概念。然而,室内气流速度也有以下要求;
1.进出口处的气流速度不应过高。与简单的空调房间相比,所需的速度应该更快地降低,扩散角应该更大。
2.通过水平面吹送的气流的速度(如返回侧面的速度)不应过高,以避免将表面颗粒吹进气流中,造成进一步的污染。不应以0.2m/s的速度进行干燥。
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