电子车间净化工程注意事项

电子车间净化工程对环境洁净度、温湿度、防静电、微振动等要求极高，任何微小的污染都可能导致产品报废。以下是核心注意事项：

一、电子车间净化工程洁净度等级与设计标准

1.明确洁净度目标

(1) 根据产品特性确定等级：例如，芯片封装车间可能要求 Class 6 级，而半导体晶圆制造车间需 Class 5 级甚至更高。

(2) 参考标准：遵循《洁净厂房设计规范》、ISO 14644-1，明确每立方米空气中≥0.5μm 粒子的最大允许数量。

2.分区设计

(1) 按洁净度差异划分区域：如将光刻区、封装区、仓储区严格分隔，通过气闸室、风淋室控制人员 / 物料交叉污染。

(2) 气流组织设计：核心区采用单向流 净化，确保污染物被直接带走；辅助区可采用乱流，但需保证换气次数。

二、电子车间净化工程材料选择与施工控制

1.墙面、地面、吊顶材料

(1) 净化板：优先选择铝蜂窝净化板或玻璃丝绵净化板，接缝处用无脱落、耐清洗的密封胶处理，避免积尘。

(2) 地面：采用环氧自流平地坪或 PVC 卷材，与墙面交接处做圆弧处理，防止卫生死角。

(3) 吊顶：选用轻质、高强度的净化板，避免使用易掉粉的石膏板；灯具、风口等设备与吊顶的缝隙需密封，防止污染物从吊顶上方渗入。

2.施工细节

(1) 避免产尘作业：切割、打磨等工序需在车间外进行，或采取局部吸尘措施；施工工具需清洁后进入洁净区。

(2) 设备安装：生产设备与地面的固定处需密封，设备表面优先采用不锈钢材质；管道穿越墙体时，缝隙用防火密封材料填充，防止交叉污染。

三、电子车间净化工程环境参数控制

1.温湿度

(1) 温度：通常控制在 22±2℃，避免温度波动导致设备热胀冷缩或产品变形。

(2) 相对湿度：45%-60%，需配备高精度恒温恒湿空调系统。

2.防静电

(1) 地面、工作台面、墙面需做防静电处理，并连接接地系统。

(2) 人员防护：进入车间需穿防静电服、防静电鞋，佩戴防静电手环；物料运输工具需安装防静电轮。

(3) 设备防静电：生产设备、货架需接地，避免静电吸附尘埃或击穿电子元件。

3.微振动与噪声

(1) 振动控制：精密设备需远离振动源，或采用防震地基，振动振幅≤5μm。

(2) 噪声控制：空调系统、风机等设备需做隔音处理，车间内噪声≤65dB。

四、电子车间净化工程人员与物料管理

1.人员进出流程

(1) 严格更衣程序：进入洁净区需经过 “一更→二更→风淋→缓冲间”，不同洁净级别的区域需单独设置更衣区。

(2) 行为规范：禁止在车间内饮食、吸烟；禁止佩戴首饰、化妆品；行走速度≤0.5m/s。

2.物料与设备进出

(1) 物料传递：通过传递窗传递，禁止直接从非洁净区带入；外包装需在缓冲区拆除，内包装需清洁或消毒后进入。

(2) 设备维护：维修工具需经过清洁、消毒后进入；废弃物料需密封后从专用通道运出，避免污染洁净区。

五、电子车间净化工程洁净系统运行与监测

1.空调净化系统

(1) 高效过滤器：核心区域末端需采用 ULPA 过滤器，定期检测过滤器完整性，发现泄漏立即更换。

(2) 系统运行：非生产时段需保持 “值班风机” 运行，正压值：洁净区相对于非洁净区≥10Pa，不同级别洁净区之间≥5Pa。

2.日常监测与维护

(1) 定期检测：每日监测温湿度、压差；每周检测洁净度；每月检测防静电性能、过滤器阻力。

(2) 清洁消毒：墙面、地面每日用无尘布蘸中性清洁剂擦拭；高效过滤器出风口每月清洁；定期进行全面消毒。

六、电子车间净化工程合规性与应急管理

1.符合行业标准：如半导体车间需满足 SEMI 标准，出口企业需符合客户所在国的洁净度要求。

2.应急预案：制定停电、空调故障等突发情况的处理流程，确保短时间内恢复洁净环境。

总之，电子车间净化工程需从 “设计、材料、施工、运行” 全流程把控，核心是通过严格控制污染物来源和环境参数，为精密电子生产提供稳定、洁净的环境，最终保障产品质量和生产良率。